即时监控化学槽内工作液的各种酸/碱/有机等成分比例， 有助于制程工艺稳定性的提升，以及节省药水。
▪️ 非接触式实时检测，不污染不损耗药水
▪️ 检测快速，不须耗材，维护简单
▪️ 可检测高温药水
▪️ 多种混合药液亦可检测
▪️ 在地技术支持开发新药水检测 ▪️ 可全网连接，实时上传检测结果
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