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PVD Sputtering
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PVD, 第三代半导体, 溅射镀膜, 三-五族半导体金属溅镀, 物理气相沉积, 电极合金溅镀, 碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN) 功率器件, WBG 宽带隙功率器件, GaAs 高频器件, Lift-Off PVD TiN TaN, AlN Buffer Layer, 源极、汲极 Ohmic Metal Alloy, Top Metal, 背面金属化 (背金), Sputtering