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自動光學檢查機
用途
1.TFT/OLED 陣列缺陷:應用於單一Layout，多層Layout，完整的面板，區域
2. 挑選的面板建立不同檢查範圍對應Cell Layout
3. 適用於非AA區邏輯線路、連接器、驅動器之檢查
特性
•ITO缺陷檢測
•LTPS/IGZO製程中的缺陷檢測
•外圍電路區域(PAD)缺陷檢測
•宏觀(Digital Macro)檢測
•檢測結果手動和自動拍照系統
•缺陷分類(ADC)&ADJ
•面板質量判級系統(Defect Judge)
•數據分析和趨勢統計
•客制化
•LED Back Light
•高精密氣浮直線性: 1/10 pixel over full range
•高平整度:1 5um
規格
.面板尺寸:適用於G2-G8.5 各世代
.靈敏度:1um~
關鍵字
3i,中導,AOI,Inspection,檢查機,TFT Inspection, TFT檢查機拍照機,Review Image,遠心鏡頭,telecentric lens ,Regular Pad,Golden Die ,Pad TO Pad ,PAD Inspection,PI Function,,Long Pitch檢測,外圍,Array檢查機,CF檢查機,Pinhole,Island,circuit Open,circuit Short,Array, Color Filter,Touch panel,t.p,c.f,Oled,Cell tester,multi region inspection, MRI,Zone Function,Photo mask defects,Periphery Inspection,Fan-out,Multi-mode glass ,MMG,detection algorithm,檢測演算法,光學成像,MTF,精密氣浮,precision,