優異的壓力控制元件, 優異搭載的壓力控制器和搖擺閥降低到達壓力設定點的時間, 使用超過100,000的控制步驟和20倍閥門提升, 增加了設備的稼動時間. 密封與非密封的蝴蝶閥可以以有無在席的方式控制. 鐘擺閥和緩閉線性閥提供不對稱的壓力控制方式, 如同隔離大型高真空幫浦. 加熱與非加熱式電容平板量器和加熱襯套為特殊選項.

真空製程設備稼動率和良率, 會受到腔體壓力控制的等級所影響, 快步移動和更精準的壓控, 是經常被期待的或需要提升設備的生產力或提升良率. 這個優異的工藝, 被可變步進馬達驅動下游控制閥門的新方式所解決（如蝴蝶式,提升式,閘門和鐘擺式), 如示, 他結合閉迴路的步進馬達控制和先進壓力控制方式, 允許這些閥門可以過去不可能的方式控制.期望的結果為快速閥門驅動器和超高位置精度, 稼動率提升15% 相對的良率亦改善. 刮傷降低為1/100, 此結果被認可, 節省真空處理器百萬元每年.