產品資料


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玻璃基板收納或取出交換機


用途

利用裝置升降與輸送功能,將基板收納進或搬出Wire Cassette。Wire Cassette在Stocker System中進行更換。


特性

設備空間比機械手臂小, 價格較便宜


規格

可對應G3.5~G10的玻璃基板


關鍵字

Feeder, Changer, Loader