產品資料


V TEX CORPORATION




我有興趣

高真空傳輸閥門


用途

此為高真空傳輸閘閥使用於半導體,平板顯示器, 光伏, LED二極體等產業.
配裝於真空腔體側, 兩個真空腔(傳輸腔/製程腔)或大氣與真空腔(製程腔)中間, 
作為生產線基板或載板傳輸的閘口.
      

特性

  • L-MOTION 軌跡動作,在真空的空間中,無金屬與滑動部件接觸,不會產生金屬微粒
  • 簡化部品的結構, 使得產品更精簡與節省空間
  • 垂直的閘板封密表面, 降低外部異物汙染的風險
  • 標準堅實的規格與免維修的產品, 可保證 100萬次的壽命
  • 標準閘板封密材料為O型圈, 可節省維修的成本

規格

高真空傳輸閘閥, 選用驅動器的型式時, 依閥門開口與規格(溫度/真空壓)而定 
VTEX 將依客戶使用的需求條件提出驅動部的型式
 
< 閥門驅動部型式 >
RollCam Type: 單凸輪軸式
Twin-RollCam Type: 雙凸輪軸式
Multi-rollcam Type: 複合凸輪軸式
Boxer Type: 往復式
Roll-to-Roll Process type: 捲帶式
  • 大氣壓型(ATM/Loadlock type): 

                ATM vs. ATM

    

  • 正壓型(Positive Pressure type): 

                   ATM vs. Vacuum

                      

              Vacuum vs. Vacuum

  •    背壓型(Back Pressure type):

        Vacuum vs. ATM      

                    

         Vacuum vs. Vacuum                   

 

             ATM vs. Vacuum

 

關鍵字

高真空閥門, 高真空傳輸閘閥, 矩形閘閥, 插板閥, 檔板閥, L -MOTION, Particle Free, HV UHV vacuum gate gate valve, Slit Valve, Door Valve, Gate Valve, Rectangle Gate Valve, Roll-cam gate valve