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自动光学检查机
用途
1.TFT/OLED 阵列缺陷:应用于单一Layout，多层Layout，完整的面板，区域
2. 挑选的面板建立不同检查范围对应Cell Layout
3. 适用于非AA区逻辑线路、连接器、驱动器之检查
特性
•ITO缺陷检测
•LTPS/IGZO制程中的缺陷检测
•外围电路区域(PAD)缺陷检测
•宏观(Digital Macro)检测
•检测结果手动和自动拍照系统
•缺陷分类(ADC)&ADJ
•面板质量判级系统(Defect Judge)
•数据分析和趋势统计
•客制化
•LED Back Light
•高精密气浮直线性: 1/10 pixel over full range
•高平整度:1 5um
规格
面板尺寸:适用于G2-G8.5 各世代
灵敏度:1um~
关键字
3i,中導,AOI,Inspection,檢查機,TFT Inspection, TFT檢查機拍照機,Review Image,遠心鏡頭,telecentric lens ,Regular Pad,Golden Die ,Pad TO Pad ,PAD Inspection,PI Function,,Long Pitch檢測,外圍,Array檢查機,CF檢查機,Pinhole,Island,circuit Open,circuit Short,Array, Color Filter,Touch panel,t.p,c.f,Oled,Cell tester,multi region inspection, MRI,Zone Function,Photo mask defects,Periphery Inspection,Fan-out,Multi-mode glass ,MMG,detection algorithm,檢測演算法,光學成像,MTF,精密氣浮,precision,