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WM-系列晶圆表面分析仪器
用途
WM-系列
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能侦测 non-patterned晶圆表面微米粉尘应用于半导体制造厂
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有能力侦测的范围从6 ~12吋晶圆
特性
晶圆表面分析仪器
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提供65-90奈米制程之解决方案
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表面分析仪器使用 violet-LD
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使用violet-LD能有效降低running cost
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单机价格低 / 高性能 / 单机尺寸小 / 简易操作
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蓝紫色雷射侦测优势
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高质量及高量测速度量测
规格
WM-系列 for 6~12吋晶圆表面分析仪器
关键字
Wafer Surfface inspection,Particle counter, Bare wafer inspection, 晶圓表面量測, 粉塵計算機台,晶圓裸片量測,晶圆表面量测, 粉尘计算器台,晶圆裸片量测