优异的压力控制元件, 优异搭载的压力控制器和摇摆阀降低到达压力设置点的时间, 使用超过100,000的控制步骤和20倍阀门提高, 增加了设备的稼动时间. 密封与非密封的蝴蝶阀可以以有无在席的方式控制. 钟摆阀和缓闭线性阀提供不对称的压力控制方式, 如同隔离大型高真空泵. 加热与非加热式电容平板量器和加热衬套为特殊选项.

真空制程设备稼动率和良率, 会受到腔体压力控制的等级所影响, 快步移动和更精准的压控, 是经常被期待的或需要提高设备的生产力或提高良率. 这个优异的工艺, 被可变步进马达驱动下游控制阀门的新方式所解决（如蝴蝶式,提高式,闸门和钟摆式), 如示, 他结合闭回路的步进马达控制和先进压力控制方式, 允许这些阀门可以过去不可能的方式控制.期望的结果为快速阀门驱动器和超高位置精度, 稼动率提高15% 相对的良率亦改善. 刮伤降低为1/100, 此结果被认可, 节省真空处理器百万元每年.