用途
杜邦TM Kalrez® 是被归类为全氟醚弹性体(Perfluoroelastomer)的高分子材料。备由可安装与各种半导体装置上的丰富产品系列,并采用UP处理作为标准规格。
特性
杜邦TM Kalrez® 全氟化弹性体是由美国杜邦公司所开发的弹性体材料。此弹性体材料不但具备铁氟龙 ® 氟系树脂的耐化学性,其耐热性更超越既有的氟系橡胶,同时更兼具橡胶的弹性,实为一划时代的产品,且全世界唯有杜邦公司才能制造与销售此一产品。此外,其耐化学性在传统氟系橡胶难以使用的乙醚类、胺类、酮类、氧化剂、有机溶剂、燃料、酸、碱等大部分的化学下,都可呈现出极佳的稳定性,而在耐热性(依据JIS K6301等的压缩永久形变测试结果)方面,则在将近300摄氏度的高温下,依然较能保持橡胶的物理特性,因此,若将Kalrez® 零件作为半导体制造装置用的密封材料使用时,可望发挥:
1、延长密封寿命及平均保养间隔时间
2、最大程度地减小由于密封材料不匹配导致的计划外维修甚至停工,减少维修保养成本
3、提升半导体产品的良品率
4、降低污染率
5、有效降低总体运营成本
等效果。
规格
杜邦TM Kalrez® 除了标准零件外,也提供按照客户要求规格制造零件的服务。
Kalrez® 产品可定制的规格:
1、特别定制O型环
2、圆棒
3、异性件(模压件)
4、软管
也可提供以机械加工制造异性件产品与其他特别定制品服务。