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玻璃基板收纳或取出交换机


用途

利用装置升降与输送功能,将基板收纳进或搬出Wire Cassette。Wire Cassette在Stocker System中进行更换。


特性

设备空间比机械手臂小,价格较便宜。


规格

可以对应G3.5~G10玻璃基板


关键字

Feeder, Changer, Loader