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V TEX CORPORATION




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高真空传输阀门


用途

此为高真空传输闸阀使用于半导体,平板显示器, 光伏, LED二极管等产业.
配装于真空腔体侧, 两个真空腔(传输腔/制程腔)或大气与真空腔(制程腔)中间, 
作为生产线基板或载板传输的闸口.

      

特性

  • L-MOTION 轨迹动作,在真空的空间中,无金属与滑动部件接触,不会产生金属微粒
  • 简化部品的结构, 使得产品更精简与节省空间
  • 垂直的闸板封密表面, 降低外部异物污染的风险
  • 标准坚实的规格与免维修的产品, 可保证 100万次的寿命
  • 标准闸板封密材料为O型圈, 可节省维修的成本

规格

高真空传输闸阀, 选用驱动器的型式时, 依阀门开口与规格(温度/真空压)而定 
V TEX 将依客户使用的需求条件提出驱动部的型式
 
< 阀门驱动部型式 >
RollCam Type: 单凸轮轴式
Twin-RollCam Type: 双凸轮轴式
Multi-rollcam Type: 复合凸轮轴式
Boxer Type: 往复式
Roll-to-Roll Process type: 卷带式

<< 对应型式与空间压力的匹配>>

  • 大气压型(ATM/Loadlock type):

                 ATM vs. ATM

  • 正压型(Positive Pressure type)

                  ATM vs. Vacuum 

                         

              Vacuum vs. Vacuum

 

  • 背压型(Back Pressure type):

       Vacuum vs. ATM    

                          

 Vacuum vs. Vacuum                                 

          ATM vs. Vacuum

 

关键字

高真空閥門, 高真空傳輸閘閥, 矩形閘閥, 插板閥, 檔板閥, L -MOTION, Particle Free, HV UHV vacuum gate gate valve, Slit Valve, Door Valve, Gate Valve, Rectangle Gate Valve, Roll-cam gate valve