• 退火

• 干湿氧化

• 高温氧化

• 200mm 以及 300mm 整合全自动化传送

• 各管独立作业

• Slip free

BDF300 主系统规格:

• 主系统尺寸: 3.017米(高) * 3.222米(宽) *  7.700米(长)
• 电源箱尺寸: 1.588 米(高) * 0.900米(宽) *  0.465米(深)
• 电源:480伏, 3相, 60赫兹
• 不断电系统 : 1500 伏

BDF 300 稳定性及保养:

• 年保所需时间:15 hours
• MTBF> 500 hours
• MTTR< 8 hours
• MTBA> 300 hours
• MTTA< 1 hour
• MTBC≥1 year
• 破片率:<1 in 100,000