TAKANO CO., LTD.

我有兴趣

晶圆外观检查装置 (Vi series)

用途

晶圆的布线图案、崩裂、混入异物等产品外观高速、高精度检查。

特性

1. 高速彩色/黑白检查晶圆缺陷

2. 可选配添加环形照明和透射照明，各照明皆可与彩色滤色器组合使用

3. 提高检出能力 & 产出能力

规格

关键字

AOI, Chip Defect Inspection,表面缺陷檢查, Automated Optical Inspection,自動光學檢測