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两面探针测量机
用途
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PCP-系列是针对一般Wafer,Thin Wafer,切割后的Wafer或是特殊形状的基板检查所开发出的Prober。
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可将一般Wafer,薄化Wafer或是特殊形状基板贴于Film Frame 上后由CST自动搬送,进行Pre-Alignment,Fine-Alignment,Probing检查。
特性
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PCP-102WS : For 测量两面的Power Device
规格
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PCP-102WS : Wafer Size:150mm(6'') 200mm(8'') 125mm(5'' ※option)
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设备尺寸:W1100mm*D860mm/重量:400kg
关键字
Double Sided Wafer Prober,兩面點測機,兩面探針測量機,两面点测机,两面探针测量机