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WM-系列晶圓表面分析儀器
用途
WM-系列
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能偵測 non-patterned晶圓表面微米粉塵應用於半導體製造廠
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有能力偵測的範圍從6 ~12吋晶圓
特性
晶圓表面分析儀器
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提供65-90奈米製程之解決方案
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表面分析儀器使用 violet-LD
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使用violet-LD能有效降低running cost
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單機價格低 / 高性能 / 單機尺寸小 / 簡易操作
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藍紫色雷射偵測優勢
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高品質及高量測速度量測
規格
WM-系列 for 6~12吋晶圓表面分析儀器
關鍵字
Wafer Surfface inspection,Particle counter, Bare wafer inspection, 晶圓表面量測, 粉塵計算機台,晶圓裸片量測,晶圆表面量测, 粉尘计算器台,晶圆裸片量测