用途
晶棒切割時,為了固定晶棒於機台的治具上,需要墊塊接著於中間使用。
使用次數:為一次性商品
適用產業:半導體wafer廠/太陽能wafer廠/藍寶石wafer廠
適用製程:晶棒切片製程
使用方法:使用膠水先將墊塊與Holder黏妥,再將晶棒黏著於墊塊上面
*以下為墊塊使用的場所及圖片:
特性
DWI 樹脂條優勢:
1)與晶棒接著面有設計Pattern
=>膠水才會吃的緊,接著才會穩固
=>剝膠時,膠水大多也會沾附在墊塊上,易於晶棒去膠作業
2)硬度高,可與晶棒的硬度接近,使切片製程穩定
3)硬度與密度都很紮實
4)灌模時抽真空處理,不會產生大量的氣泡,線切割時才不會容易chipping
規格
主要分為2大項:
1)圓邊:適合圓棒的晶棒,R角可以將晶棒牢牢黏妥。
2)平邊:適合太陽能的方型晶棒,或是有切平邊的圓棒。
無論長/寬/高/R角角度等,都是客製化的產品,可依客戶的喜好來訂製。
*產品圖示如下: