用途
開發出12吋自動化晶圓暫存緩衝台(Near Tool Buffer, NTB)及其控制軟體，可減少晶圓廠自動化搬運系統 (AMHS)之搬運時間;12吋晶圓生產自動化技術應用於8吋晶圓盒交換台(POD Exchanger)，可自動取放生產機台上之晶圓盒，並搬運與儲存至貨架上，提供給操作人員取放之用，該產品可有效減少現場操作人員之取放時間壓力，甚而實現8吋晶圓廠全自動化生產之目的。同時亦開發出6吋光罩自動化搬運機台解決方案
特性
國內8吋半導體廠升級為自動化生產工廠，符合目前國際工業4.0的發展趨勢，並透過已成功打入目前國內市場，建立台灣半導體設備自主研發之能力
規格
客製化規格
配合12吋晶圓自動化生產，N28製程以下都採用ART(Automatic Reticle Transportation)放置光罩盒(Reticle POD)，故活用輸送帶機構(Conveyor)，開發6吋光罩自動化搬運機台(RePODEX)，可聯結光罩盒儲存站(Stocker) & OHT，並透過Conveyor 模組配置，達到自動化生產系統建置