產品資料


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單片及批次濕製程設備


用途

各類槽式清洗設備Wet Bench

各類單片式刻蝕&清洗設備Single Wafer

化學供應系統(Chemical Supply System)局部化學供應系統(Local Chemical Supply Unit)

中央化學供應系統(Central Chemical Supply System (for Whole Fab.))

化學混合系統(Chemical Mixing System)

 

 


規格

Pr-stripper/Wet Etch/Wafer clean/EKC/Part's clean/Tube clean