即時監控化學槽內工作液的各種酸/鹼/有機等成分比例， 有助於製程穩定性的提升，以及節省藥水
▪️ 非接觸式即時檢測，不污染不損耗藥水
▪️ 檢測快速，不須耗材，維護簡單
▪️ 可檢測高溫藥水
▪️ 多種混合藥液亦可檢測
▪️ 在地技術支援開發新藥水檢測 ▪️ 可全網連接，即時上傳檢測結果
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