產品資料


TAKANO CO., LTD.




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VI 晶圓外觀檢查裝置 (Vi series)


用途

晶圓的佈線圖案、崩裂、混入異物等產品外觀高速、高精度檢查。

特性

1. 高速彩色/黑白檢查晶圓缺陷
 
2. 可選配添加環形照明和透射照明，各照明皆可與彩色濾色器組合使用 
 
3. 提高檢出能力 & 產出能力

規格

關鍵字

AOI, Chip Defect Inspection,表面缺陷檢查, Automated Optical Inspection,自動光學檢測