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兩面探針測量機
用途
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PCP-系列是針對一般Wafer,Thin Wafer,切割後的Wafer或是特殊形狀的基板檢查所開發出的Prober。
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可將一般Wafer,薄化Wafer或是特殊形狀基板貼於Film Frame 上後由CST自動搬送,進行Pre-Alignment,Fine-Alignment,Probing檢查。
特性
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PCP-102WS : For 測量兩面的Power Device
規格
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PCP-102WS : Wafer Size:150mm(6'') 200mm(8'') 125mm(5'' ※option)
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設備尺寸:W1100mm*D860mm/重量:400kg/
關鍵字
Double Sided Wafer Prober,兩面點測機,兩面探針測量機,两面点测机,两面探针测量机