運用於晶圓裸片生產，全自動光學檢測晶圓缺陷 包含針孔pinhole 穿孔, 表面刮傷，異物等缺陷。
技術成熟，長期獲得晶圓客戶使用量產
產能高，可運用於輕摻及重摻晶圓裸片，並具有表面缺陷檢測功能
AWI -12 可對應12吋 (300mm) 晶圓檢查
AWI- 8 可對應8吋 (200mm) 晶圓檢查
