
智慧電流鉤表
展綠

智慧電流鉤表
展綠
- 全無線電流鉤表,自行充電無須拉線
- 即時監控用電量,可達成設備異常警示
- 無須停機快速安裝,不浪費產能工時,建置成本低

防震金具腳座
台灣日特

防震金具腳座
台灣日特
- 可耐震度7級、最重可支援4噸設備重量
- 安裝、變更設置簡單,可水洗後重複利用
- 不傷害地板取代傳統鉚釘固定,且適用於無塵環境

低頻RFID讀寫器
台灣日特

低頻RFID讀寫器
台灣日特
- 業界中體積最小、支援眾多通訊接口
- 在電磁噪聲(Noise)、金屬環境中,通訊性能依舊卓越
- 支援半導體業界標準的SEMI規格(SECS、HSMS)

六面檢查移載設備
台灣日特

六面檢查移載設備
台灣日特
- 1.可以變更吸嘴數來移載多樣化尺寸的晶片(最多16支)
- 使用3種相機來做6面檢查(上面/背面/側面)
- 可依需求調整Input與入Tray模式

全自動豎管爐
真萍

全自動豎管爐
真萍
- 一體式人機作業系統,連續式自動化生產,工作效率高,節約人工成本、電力及製程時間
- FEC加熱,升溫迅速且均勻度好
- 優質不銹鋼材質,表面經物理及化學拋光處理,確保潔淨度

AccuSave AI 空調節能軟體
台灣愛淨

AccuSave AI 空調節能軟體
台灣愛淨
- 節能率 15% ~ 65%
- 提高空調系統效率
- 降低營運成本費用

烘箱
Despatch

烘箱
Despatch
- 具百年歷史,專注於熱處理烘箱技術
- 提供從桌上型、櫃體到超大型烘箱,滿足各種產業的需求

回收再利用系统
安略

回收再利用系统
安略
- 減少70%的CeO2、回收60%的廢水
- 批量化自動回收生產,無須更改參數
- 與原液相同之拋光良率

切割刀
ASAHI Diamond

切割刀
ASAHI Diamond
- 廣泛運用在玻璃、陶瓷、化合物等各類PKG
- 可在高剛性與高切削力間客製化適合的結合劑
- 有樹脂刀、金屬刀、電鑄刀三種類

磨刀板
ASAHI Diamond

磨刀板
ASAHI Diamond
- 適用於晶圓切割刀片
- 提高切割效率,降低時間成本
- 降低冷卻液用量

水平式爐管
TEMPRESS

水平式爐管
TEMPRESS
- 提供多用途大氣和CVD處理室,適用於任何類型的矽片
- 可批量處理每管25-1000片晶圓
- 全自動化立式、臥式爐,可應用於高溫氧化和LPCVD

水平式爐管
BTU

水平式爐管
BTU
- 200mm 以及 300mm 整合全自動化傳送
- 各管獨立作業
- Slip free

滑動式真空閥門
V-TEX

滑動式真空閥門
V-TEX
- 真空內部不會有金屬之間的摩擦
- 精簡設計,從而降低成本和使用空間
- 標準設計是動作100萬次,高耐久低維護

導電型奈米超晶體
浩盛科技

導電型奈米超晶體
浩盛科技
- 增加電力品質、增加有效電力
- 提高發電能力、減少衰退率
- ESG產品無毒、綠能、環保

晶圓外觀檢查設備
TAKANO

晶圓外觀檢查設備
TAKANO
- 高速彩色/黑白檢查晶圓缺陷
- 可選配添加環形照明和透射照明,各照明皆可與彩色濾色器組合使用
- 提高檢出能力 & 產出能力

晶圓表面掃描設備
TAKANO

晶圓表面掃描設備
TAKANO
- 可偵測晶圓表面微粒子或缺陷
- 採用violet-LD表面分析儀,能有效降低運行成本
- 高性能、高品質及高量測速度,操作簡易

ALTEX Bump 高度檢查設備
TAKANO

ALTEX Bump 高度檢查設備
TAKANO
- BUMP高度,共面性可實現高精度測定3σ≦1.0μm
- 每個樣品的檢查時間在2秒以下。通過獨特的處理演算和專用處理裝置,可以在極短時間內對數萬個高密度BUMP進行量測處理。
- 可以量測到最小φ30μm的圓形BUMP。

探針測量機
Plum Five

探針測量機
Plum Five
- 可檢查一般晶圓、薄晶圓、切割後的晶圓或是特殊形狀的基板
- 從載具上經可控傳輸裝置自動運送,並進行後續檢查
- 可進行多區測量

雙面曝光檢查機
清和光學

雙面曝光檢查機
清和光學
- 應用廣泛,可用於曝光偏移檢查、缺陷檢查、CoWos HBM 偏移檢查
- 頂面對準及背面對準工藝
- 3D 檢查技術,如白光干涉、共焦點、AFM

全自動光學檢查設備 + 白光干涉儀
清和光學

全自動光學檢查設備 + 白光干涉儀
清和光學
- 對於集成回路形成後和切割後的wafer/bare wafer,其指定位置或pattern的尺寸做量測
- 可根據量測高度時獲取的資訊生成3D模型,亦可作為簡易版SEM功能使用
- 也可以進行線寬(2D)×高度(3D)的混合量測

缺陷IR檢查設備
清和光學

缺陷IR檢查設備
清和光學
- 針對 power device、CMOS、水晶(音叉)、噴墨頭等各式各樣的檢查項目,且有豐富實績
- 對於 wafer 正反面 pattern 的位置偏移,能夠以非破壞式進行精密量測及檢查,也能對應wafer表面-表面及wafer表面-界面(内部pattern)之檢查
- 搭載DSI專用光學引擎,進行高精度量測;重複測定精度可達 3σ≦0.2~0.02μm

eFLOW
DIC

eFLOW
DIC
- 遮罩版與光罩清洗
- 洗滌器清洗
- 高壓噴射清洗
- 切割製程清洗
- 電池清洗

抽藥式液體濃度計
兆晶生物科技

抽藥式液體濃度計
兆晶生物科技
- 適用於高溫溶液(10-80°C),並可同時進行多種化學物質的準確測量
- 非接觸式分析方法,無污染風險
- 專利高訊噪比感測器,可準確測量酸、鹼和有機物質

夾管式液體濃度計
兆晶生物科技

夾管式液體濃度計
兆晶生物科技
- 設備體積小巧,適用於狹小安裝空間
- 即時監控、連續光譜檢測
- 準確分析高溫藥液(10-160°C),並同時量測多種成分

濕法設備
力集泓

濕法設備
力集泓
- 包含多種化學供酸系統、槽式/單片清洗機
- 專業二次配工程服務

氮化矽基板
超能高新

氮化矽基板
超能高新
- 高強度:耐壓、耐折不易破片,可實現更輕薄的組件並提升散熱效率
- 高熱傳導性、散熱效果良好,絕緣性能良好,無漏電之虞
- 適用於超快速充電、新能源車與各式功率組件

機智快篩套件
智慧貼紙

機智快篩套件
智慧貼紙
- 即時監測並測量特定參數,如振動、溫度、濕度等
- 具備無線傳輸功能,可設定警示值並通知
- AIoT 邊緣計算裝置,內建資料壓縮演算法 DecayRate

研磨切割固態蠟
日化精工

研磨切割固態蠟
日化精工
- 高接著強度的暫時性接著蠟,可依照不同加工材料與製程確認強度要求
- 方便操作,可根據操作溫度、作業黏度、耐溫特性等選擇適合之產品
- 易於清洗,可配合客戶需求內容提供清洗方案,並且不造成殘留污染

晶圓鐳射劃片保護劑
日化精工

晶圓鐳射劃片保護劑
日化精工
- 水溶性保護液,可防止鐳射切割產生的燒出物直接接觸或再附著於晶圓
- 適用於扇出封裝、CIS感測器封裝、DDIC晶片的COG/COF封裝、儲存晶片的Bumping封裝等行業
- 保護效果好、易清洗、性能穩定

鑽石線
ASAHI Diamond

鑽石線
ASAHI Diamond
- 可縮短切割時間、減少晶片損傷
- 晶片薄化
- 晶片切割後,厚度保持一致

Notch 晶圓刻槽研磨砂輪
ASAHI Diamond

Notch 晶圓刻槽研磨砂輪
ASAHI Diamond
- 晶圓倒角加工
- 對應2"~12"尺寸
- 單溝與多溝槽類型

雙盤直槽磨削 (DDSG)
ASAHI Diamond

雙盤直槽磨削 (DDSG)
ASAHI Diamond
- 雙面檢薄磨輪
- 使用超微粒砥粒增加磨削力
- 可依據客戶設備需求客製不同規格磨輪

拋光墊修整器
ASAHI Diamond

拋光墊修整器
ASAHI Diamond
- 提升拋光效能
- 晶圓表面減少刮傷
- 可依據客戶設備需求客製不同type對應使用

IBSD PVD
Adnano

IBSD PVD
Adnano
- IBSD PVE
- IBSD ETCH

設備自動化
TDV

設備自動化
TDV
- 設備RTM自動化改造
- AI影像辨別

單片式晶圓清洗機
錫宬

單片式晶圓清洗機
錫宬
- 單片處理時間短,效率高
- 微粒去除能力強,碎片率低,可靠性高
- 硫酸使用量更小、清洗能力更強,可有效降低清洗成本

Precision V 冷卻液
ITW Techspray

Precision V 冷卻液
ITW Techspray
- 優良的傳熱功能和效率,良好的溫度調節功能
- 高比熱容、高介電強度、低介電常數
- 優異的化學相容性、高沸點

晶圓傳送設備
R2D Automation

晶圓傳送設備
R2D Automation
- 有助於減少人工作業,提高生產效率
- 降低可能的人為錯誤和生產風險
- 可滿足不同客戶的需求,提供客製化方案

高溫濕式氧化爐
Aloxtec

高溫濕式氧化爐
Aloxtec
- 專用於VCSEL產品氧化製程,具有即時監控功能
- 氧化、量測、退火功能三合一機台
- 高穩定性及高均勻性的水蒸氣流量控制系統

VCSEL氧化孔徑自動量測設備
Aloxtec

VCSEL氧化孔徑自動量測設備
Aloxtec
- 專用於VCSEL孔徑量測
- 支持手動/全自動
- 可對應 20/50/100 倍 CCD 鏡頭

樹脂墊塊
DWi DOW INNOVATION

樹脂墊塊
DWi DOW INNOVATION
- 用於矽錠切割用BAND SAW及WIRE SAW製程,可提高生產品質
- 可按照客戶要求訂做不同尺寸
- 可搭配黏合劑產品使用,提高生產效率

有鹼玻璃
日本板硝子

有鹼玻璃
日本板硝子
- 主要應用在TN-LCD及STN-LCD產品、觸控面板的主要玻璃原料、觸控面板上層的保護層玻璃的主要原料
- 超薄的有鹼玻璃
- 全世界平板玻璃市占率為50%
- 玻璃厚度:0.28t~1.1t
- 可對應最大母板玻璃尺寸:G6

強化玻璃
日本板硝子

強化玻璃
日本板硝子
- 適用於智慧型手機的glanova玻璃、汽車應用的化學強化薄玻璃
- 強度高且足夠強
- 低軟化點,易於熱3D成型
- 成本低於其他競爭材料

面板級自動光學檢測機 - L
中導光電

面板級自動光學檢測機 - L
中導光電
- 可應用於陣列、彩膜、觸控式和有機發光二極體等多種面板之缺陷檢測
- 平均無故障時間大於1000小時,穩定耐用
- 可客製最高檢測速度

面板級自動光學檢測機 - H
中導光電

面板級自動光學檢測機 - H
中導光電
- 可應用於陣列、彩膜、觸控式和有機發光二極體等多種面板之缺陷檢測
- 最高測量精度為1.0微米
- 可客製最高檢測速度

自動線寬測量設備
中導光電

自動線寬測量設備
中導光電
- 高速對焦顯微鏡系統,具備透射和反射模式
- 高效影像處理和智慧演算法,放大倍率最高可達100倍
- 可全域測量,無非檢區

Electrovert 清洗機
ITW EAE

Electrovert 清洗機
ITW EAE
- 全方位噴射模式能改善低距離組件下的清潔,消除陰影效應
- 採用混合噴霧技術
- 提供多種整合設計功能,可節省化學物質和電力,降低消耗

Centurion™ 迴流焊
ITW EAE

Centurion™ 迴流焊
ITW EAE
- 具嚴格的閉環製程控制,專為當今高吞吐量組裝環境而設計
- 大幅度減少產品的熱差異並使用更少的能源
- 透過尖端的助焊劑處理技術減少維護需求、降低擁有成本

Prodigy™ 點膠機
ITW EAE

Prodigy™ 點膠機
ITW EAE
- 可在全速下實現 ± 35μ 3 Sigma 的點膠精度
- 創新電路板分級選項,可將 X 方向的分配區域擴大1-3倍,最大處理尺寸達 900 毫米
- 專利傾斜和旋轉技術,可減少KOZ、改善底部填充的毛細流動

Edison™ 印刷機
ITW EAE

Edison™ 印刷機
ITW EAE
- 優化的系統處理速度,可增加印刷關鍵參數裕度
- 濕列印精度提高 25%:內置 ±8 微米對準精度和 ±15 微米印刷重複精度 (≥2 Cpk @ 6σ)
- 無印刷偏差:高精度測壓傳感器能消除壓力前後變化,使整張表面的壓力保持不變

光罩對準曝光機
NXQ

光罩對準曝光機
NXQ
- 高精度光罩對準曝光機,可對應 6、8、12吋晶圓及卷對卷基材
- 廣泛應用於功率元件、LED光電、封裝及生物科技等業界肯定。

無塵布
Texwipe

無塵布
Texwipe
- 確保晶圓表面的乾淨和無塵,有助於保證製程穩定性和產品品質
- 防靜電能力有助於保護晶圓和製程的安全

黏著劑
日化精工

黏著劑
日化精工
- 接著力強,硬度高,好剝膠,產品品質穩定
- 俗稱AB膠,每組包含主劑與硬劑,藉由二劑攪拌均勻混合後,才會起化學作用
- 優良的耐熱性、耐藥性、快速切割性

臨時鍵合液態蠟
日化精工

臨時鍵合液態蠟
日化精工
- 可用於薄型晶圓背面加工、深矽刻蝕、TSV通孔等製程
- 適用於晶圓級封裝、化合物半導體、MEMS等行業
- 耐高溫、耐化學藥液侵蝕、易於清洗、性能穩定

晶圓刀輪切割清洗劑
日化精工

晶圓刀輪切割清洗劑
日化精工
- 極高的潤滑性可減少切割抗性,可降低刀輪切割中碎片發生的可能性
- 適用於CIS感測器封裝、MEMS封裝、扇出封裝等行業
- 可提升切割效率、保護效果好、可顯著降低裂片、易清洗

研磨減薄機
秀和

研磨減薄機
秀和
- 相容4吋、6吋、8吋的SiC減薄專用機
- 可對應150/150mm同尺寸鍵合晶圓減薄
- 可提供非接觸式減薄即時監控

槽式晶圓清洗機
上海提牛

槽式晶圓清洗機
上海提牛
- 可客製化設計製作
- 多採用一體化無拼接設計,不易產生微粒及漏液情況,低維修成本
- 可用於晶圓清洗去除表面微塵微粒、蝕刻及光阻去除

供酸櫃(CDU)
上海提牛

供酸櫃(CDU)
上海提牛
- 使用進口材質及多處採用一體化無拼接設計,不易產生液漏,低維修成本
- 可客製化訂做

燒結銀膏
聚峰

燒結銀膏
聚峰
- 高功率電子元件封裝材料,採用先進奈米銀技術
- 可直接在無鍍金或鍍銀處理的銅板上燒結並塗抹
- 提供點膠、鋼網印刷、無壓與有壓燒結

銅核球
聚峰

銅核球
聚峰
- 出色BLT控制,可建構高可靠性和超細間距的3D封裝結構
- 高導電、高散熱性及良好的耐電遷移性能
- 提供錫合金塗層銅核球與鍍金銅核球

焊片
聚峰

焊片
聚峰
- 高穩定性與高可靠性
- 優良導電性和導熱性
- 高強度、良好抗疲勞性

錫球
聚峰

錫球
聚峰
- 球形度均勻、直徑公差小
- 優良抗氧化、高可焊性與高可靠性
- 提供 0.05mm - 1.0mm 與客製化尺寸

智慧自動化系統
廣運機械

智慧自動化系統
廣運機械
- 可縮短產品研發製造週期、降低成本
- 提高生產效率、提升產品品質
- 可應用於工業危險等繁重工作,減少操作錯誤

邊緣輪廓光學檢測機+Edge AOI檢查
台達

邊緣輪廓光學檢測機+Edge AOI檢查
台達
- 有助於提前發現問題並採取適當措施,減少不良品率
- 自動化檢測功能,能夠自動進行檢測和分析,減少人工作業
- 檢測+分選一體機,提高檢測效率和一致性

全自動晶圓孔洞檢查機
台達

全自動晶圓孔洞檢查機
台達
- 瑕疵缺陷檢測系統-解析度:1.7um;孔洞檢深度檢查
- AOI+AI 篩選功能,避免髒汙顆粒過篩

晶圓磨邊機
台達

晶圓磨邊機
台達
- 提高晶圓製程效率,減短生產週期
- 提升後續製程的穩定性
- 自動化功能,能自動調整參數和進行加工,降低人工作業的需求

AOI 外觀總檢分選機
台達

AOI 外觀總檢分選機
台達
- 全面性檢測,AOI+AI 智慧檢測演算法,輔以全方位亮暗三視野光學影像
- 一機多功化,整合阻值、平坦度、檢測模組
- 彈性生產化:快速切換尺寸、自動換線
- 自動化程度可根據客戶要求自由搭配各種缺陷檢測,同時實現自動化

RTP快速退火/熱處理爐
技鼎

RTP快速退火/熱處理爐
技鼎
- 適用於 8 吋及 6 吋晶圓產品
- SMIF / Open cassette 裝卸口
- 常壓 / 真空製程相容,無氧 (O2 < 1 ppm) 環境監控
- 支持SECS/GEM,相容SEMI-S2 / CE 安全規定;

物理濺射鍍膜機
天虹

物理濺射鍍膜機
天虹
- 可依需求選擇腔體配置,高度客製化,最多可到6個腔
- 可選搭薄片處理架構、ICP、degas或long throw架構
- 反應式濺鍍可選搭in-situ pasting模組
- 搭配SECS / GEM高度自動化

碳膜濺射鍍膜機
天虹

碳膜濺射鍍膜機
天虹
- 採用高真空物理方法鍍膜
- 碳膜純度高、緻密性高、雜質少
- 提供良好的階梯覆蓋效果
- 特殊設計減少 particle

原子層鍍膜機
天虹

原子層鍍膜機
天虹
- 客製化程度高,自動化程度高
- 因應高低溫與 charge damage concern,可選擇 thermal ALD 或是 PEALD
- 專利進氣設計及 showerhead 系統設計,絕佳均勻性
- 常用於 Al2O3、SiO2、AlN、ZrO2、SiNX、HfO2、TiN、TiO2、金屬Mo等製程

臨時鍵合/解鍵合機
天虹

臨時鍵合/解鍵合機
天虹
- 對位精度小於 ±50um
- 專門的無氣泡工法
- 可同尺寸鍵合 150/150mm
- 適用於GaAs、GaN、SiC、LED、3DIC等領域應用

真空電漿設備
天虹

真空電漿設備
天虹
- 適用光阻或 PI 顯影後,可使用 descum 去除 PR 或 PI 的 residue
- 適用 laser release layer 的移除
- 適用 ABF 的 dry etching
- 適用 SiC 晶片研磨後利用 plasma polish 移除 damage layer

顯微分光膜厚儀
大塚

顯微分光膜厚儀
大塚
- 利用顯微分光實現高精度絕對反射率測量(多層膜厚、光學常數)
- 1.1秒 高速測量
- 搭載 marco 功能,可自訂各種測量情況

常壓CVD
Amaya

常壓CVD
Amaya
- 新型單片式常壓 CVD,用於 hard mask 以及 ILD 氧化絕緣層
- 單片式的新設計可對應翹曲第三代半導體 SiC 晶圓

碳化矽粉料
冠嵐新材料

碳化矽粉料
冠嵐新材料
- 高純度 CVD 法碳化矽長晶原材料
- 顆粒 size 大,長晶更快、更厚、純度更高
- 長晶成本低

X射線 Ingot 檢測設備
睿生光電

X射線 Ingot 檢測設備
睿生光電
- 可避免資源浪費和生產成本的增加
- 有效保證產品品質和安全性,能提前發現潛在問題
- 配備先進的影像處理和分析軟體,自動識別和分類不同類型的缺陷

晶圓盒自動包裝機
易發精機

晶圓盒自動包裝機
易發精機
- 取代人工作業、維持產品品質一致,並有效降低晶圓破片風險
- 自動真空封口,確保 FOUP 不會受損。各重要站點搭載監控系統留檔,避免客訴爭議導致的損失
- E84 通訊,對應 OHT 天車系統、MR 系統自動化上料功能,可大量投產

CMP拋光機
夢啟半導體

CMP拋光機
夢啟半導體
- 採用 PLC + 觸控式螢幕控制系統,設備參數設置和操作簡單方便,系統運行穩定性高
- 採用氣缸加壓方式,通過電氣比例閥控制實現壓力的閉環控制,保證極高的施壓精度與穩定性
- 拋光盤與上壓盤設置了水冷卻功能,在保證拋光液發揮高效率的同時減少拋光盤面的變形

TC Wafer 表面溫度感測器
技鼎

TC Wafer 表面溫度感測器
技鼎
- 可對應多種尺寸的晶圓和不同種類材質的基板
- 溫度範圍:-200℃~1200℃
- 感測器數量可依需求訂製
- 規格精度高:sensor to sensor ±0.5°

Kalrez全氟密封圈
DuPont 杜邦

Kalrez全氟密封圈
DuPont 杜邦
- 耐化學性,在大部分化學下皆可呈現極佳穩定性
- 近攝氏 300 度的耐熱性,在高溫下依然能保持橡膠的物理特性
- 延長密封壽命及平均保養間隔時間、提升半導體產品的良品率

移動平臺用主動隔振、制振系統
IDE

移動平臺用主動隔振、制振系統
IDE
- 六個自由度空間主動隔振
- 移動平臺及地板前饋控制
- 無需供氣,高速移動平臺專用

地板振動主動隔離系統
IDE

地板振動主動隔離系統
IDE
- 六個自由度空間主動隔振
- 高穩健性並具有地板振動前饋功能
- 無需供氣

拋光廢水回收系統
英萊特

拋光廢水回收系統
英萊特
- 利用專利技術回收取代70%的研磨粉/拋光粉用量
- 回收60%水資源
- 環保,節省原料成本

UV切割膠帶
好加

UV切割膠帶
好加
- 使用特定波長紫外線照射後,減低黏著力至極低黏,使被黏貼物易於脫膠脫膜,便於加工
- 適用於晶圓研磨、切割製程,以及各種基板或半導體電子產業切割與轉貼

Drynon C 保濕劑
日化精工

Drynon C 保濕劑
日化精工
- 矽晶片及玻璃材料在 final polishing 後使用的表面活性劑,能有效抑制particle、HAZE及防止金屬污染

Kilalaclean 去蠟清洗劑
日化精工

Kilalaclean 去蠟清洗劑
日化精工
- 適用於各類半導體材料於拋光後高純度清洗及日化精工原產液/固體蠟的清洗
- 適用於與接觸晶片的設備、磨具及設備零部件的精密清洗
- 低侵蝕率,可用純水稀釋使用,更加安全經濟

Devel 陶瓷盤清洗劑
日化精工

Devel 陶瓷盤清洗劑
日化精工
- 無機類清洗劑,利於脫脂、適合用於去蠟清洗,效果超群
- 不含有機溶劑,適用與石英、水晶、陶瓷等材料清洗
- 安全且經濟